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ULSI硅襯底化學機械研磨技術研究StudyofCMPLappingTechnique
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高精度氣壓燒結氮化硅陶瓷球的研磨技術-《機械工藝師》1995年08期
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2013年3月(yue)22日-化學機(ji)械拋(pao)光(guang)過程(cheng)使用安裝在剛性(xing)拋(pao)光(guang)平盤(pan)上的柔性(xing)拋(pao)光(guang)墊,硅(gui)片被壓在拋(pao)光(guang)目(mu)前常用的拋(pao)光(guang)方法有以(yi)下幾種氧化鋅材料的切割、研磨、拋(pao)光(guang)工藝(yi)(研磨膏。
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東莞市百(bai)特研磨材(cai)料有限公(gong)司(si)是一家專(zhuan)業(ye)供應各種金剛砂磨料:棕剛玉(yu)砂,白剛玉(yu)砂,百(bai)特本司(si)擁有專(zhuan)業(ye)技術人員采用美國諾頓工(gong)藝設(she)備流(liu)程,生產(chan)(chan)出的產(chan)(chan)品質(zhi)量穩定、品質(zhi)。
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