MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固(gu)態裝配型諧振器(qi)(SMR)方面(mian),論(lun)文采用上(shang)述(shu)模(mo)型分析了(le)四分之一波長布(bu)拉格反射(she)柵(zha)對其諧振特(te)性(xing)的影響(xiang),得(de)到了(le)SMR器(qi)件獲得(de)理想性(xing)能所需的少反射(she)柵(zha)對數(shu);另外,考慮(lv)到實際。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電層的典(dian)型厚(hou)度在幾個微米或(huo)壓力場看起來與(單晶的)石英模式的石英這種類型的BAW被稱為固態裝配(pei)諧振器(qi)(SMR)。魯棒(bang)性而(er)言,,則可減少諧振器(qi)。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態(tai)裝(zhuang)配型諧(xie)(xie)振器(SMR)的模擬分析(xi)湯亮郝震宏喬東(dong)海汪承灝摘要(yao):正1引(yin)言近年來,薄膜體聲波諧(xie)(xie)振器(FBAR)由于其較小的體積(ji)以(yi)及(ji)可與IC電(dian)路進行單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣形(xing)成(cheng)的(de)(de)諧振(zhen)器(qi)是固態(tai)裝(zhuang)配(pei)諧振(zhen)器(qi)(SMR)。在一個(ge)實施例中,襯(chen)底12由硅(Si)制成(cheng),PZ層(ceng)18由氮化鋁(AlN)制成(cheng)。或者,也可以使用其他的(de)(de)壓電材料來制作PZ層(ceng)18。在一。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于(yu)CMOS工藝的高性能(neng)射頻濾波器:體聲(sheng)波濾波器BAW第(di)2頁/共6頁<上一(yi)頁下這種類(lei)型的BAW被稱為固態裝(zhuang)配諧振器(SMR)。魯棒(bang)性而言(yan),SMR比(bi)膜結(jie)構的BAW要好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種(zhong)類型的(de)(de)BAW被稱為固態裝配(pei)諧振(zhen)器(SMR)。魯棒性而言(yan),SMR比膜結(jie)構(gou)的(de)(de)BAW要好很多(duo)。在劃片和裝配(pei)所需的(de)(de)各種(zhong)標準工序中,沒有(you)機械損壞的(de)(de)風險。壓電層和電極層上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極(ji)做成(cheng)膜結(jie)構(gou)或一(yi)并沉積到一(yi)個薄的支撐膜上,形成(cheng)空氣(qi)一(yi)固(gu)體交(jiao)界(jie)面(mian);還有一(yi)種方式是采用“聲波鏡”形成(cheng)反射(she)面(mian)來實現,這種結(jie)構(gou)被稱為“固(gu)態裝配諧振器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸(suan)鉛溶膠凝(ning)膠諧振器建立微(wei)型體聲(sheng)波(bo)諧振器機械結構(gou)的(de)等效電路(lu)模(mo)型,運(yun)用PSPICE軟件研究4湯亮;郝震宏;喬東海(hai);汪(wang)承灝;;ZnO固態裝配型諧振器(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電薄膜(mo)諧振(zhen)(zhen)器可(ke)以分類為FBAR(膜(mo)體聲諧振(zhen)(zhen)器)型和(he)SMR(固(gu)態裝配(pei)諧振(zhen)(zhen)器)型。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述聲波(bo)器件的示例為諸如FBAR(膜體聲波(bo)諧振器)和SMR(SolidlyMoutedResonator:固態(tai)裝配(pei)諧振器)的薄膜諧振器。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲(sheng)諧振器(qi)(10;110;和210)包括少部分地補(bu)償(chang)通過電(dian)極(ji)壓電(dian)疊層(18)引入的(de)溫(wen)度感應效應的(de)鐵(tie)磁(ci)補(bu)償(chang)器(qi)(20;120;和220)。該(gai)補(bu)償(chang)器(qi)具有(you)(you)正頻率溫(wen)度系數,而疊層具有(you)(you)負。
BAW_百度文庫
包(bao)含這(zhe)些壓電(dian)薄膜諧(xie)振器的(de)濾波器也受到關注。[0003]壓電(dian)薄膜諧(xie)振器的(de)例(li)子(zi)包(bao)括FBAR(薄膜腔(qiang)聲(sheng)諧(xie)振器,FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固(gu)態裝配諧(xie)振器,Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上(shang)述壓電薄膜諧振器分為兩種類型,FBAR(薄膜腔聲諧振器)和(he)SMR(固態裝配諧振器)。FBAR包(bao)括層疊在諸如硅或玻璃(li)的(de)基板上(shang)的(de)上(shang)電極膜、壓電膜和(he)下電極膜的(de)層疊結構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包(bao)含這(zhe)些(xie)壓電薄膜(mo)諧(xie)(xie)(xie)振器(qi)的濾波器(qi)也(ye)受(shou)到(dao)關注(zhu)。壓電薄膜(mo)諧(xie)(xie)(xie)振器(qi)的例子(zi)包(bao)括FBAR(薄膜(mo)腔聲諧(xie)(xie)(xie)振器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固(gu)態裝配諧(xie)(xie)(xie)振器(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另(ling)外值得一提的(de)是,德國(guo)的(de)Infneon公司在(zai)2003年推出了具有布拉格(ge)反射層結構(gou)的(de)固貼式(shi)(又稱(cheng)固態(tai)裝配型)薄(bo)膜體聲波諧(xie)振器(SMR-FBAR)[9-10].而我國(guo)關(guan)于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引言固態(tai)引信(xin)諧振器是電子安全系統的重要(yao)組成部分之一(yi),它能(neng)在后坐加速度和旋轉離心力的作用下向前運動,使(shi)限(xian)位(wei)保險處于(yu)鎖定狀態(tai),從(cong)而使(shi)引信(xin)處于(yu)待發狀態(tai)。但(dan)是,。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫米(mi)(mi)波(bo)平(ping)面振(zhen)蕩器基片(pian)集成波(bo)導相位噪聲雙(shuang)端口(kou)壓(ya)控振(zhen)蕩器注入鎖定諧波(bo)振(zhen)蕩器毫米(mi)(mi)波(bo)平(ping)面振(zhen)蕩器是毫米(mi)(mi)波(bo)平(ping)面集成系統ZnO固態裝配(pei)型諧振(zhen)器(SMR)的模(mo)擬(ni)分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振器(10;110;和(he)(he)210)包(bao)括少部分地補(bu)償(chang)通過電(dian)極(ji)壓電(dian)疊(die)層(18)引入的溫度感應(ying)效應(ying)的鐵磁補(bu)償(chang)器(20;120;和(he)(he)220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵詞:微波(bo)濾波(bo)器(qi)時(shi)域有(you)限差分(fen)法階(jie)梯阻抗諧振器(qi)橢圓函數濾波(bo)器(qi)多層(ceng)6湯亮;郝震宏(hong);喬東海;汪承灝;;ZnO固(gu)態裝配型諧振器(qi)(SMR)的模擬(ni)分(fen)析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘(zhai)要固態微(wei)型諧振器的工(gong)作(zuo)頻率(lv)高(gao)、功率(lv)容量大、損耗低、體(ti)積小(xiao),是(shi)目前有望第三(san)種為本研究(jiu)采用反射層聲學隔離固定(ding)結(jie)構(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖(tu)l一(yi)。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在(zai)固態裝配型諧振器(SMR)方面(mian),論文(wen)采用上述模型分析了(le)四分之一波長(chang)布拉格反(fan)射柵對其諧振特性(xing)的影(ying)響,得(de)到(dao)了(le)SMR器件(jian)獲得(de)理想性(xing)能所需的少反(fan)射柵對數;另外,考慮到(dao)實際(ji)。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣(yang)形成的諧振(zhen)器是(shi)固態(tai)裝配諧振(zhen)器(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個(ge)實施例(li)中(zhong),襯底12由(you)硅(Si)制成,。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大(da)字報利(li)用(yong)無線傳感器(qi)網絡實現運動聲(sheng)源的(de)定位與跟蹤錄(lu)取,報告用(yong)相對運動幾何(he)求解BOT問題ZnO固(gu)態裝(zhuang)配型諧振(zhen)器(qi)(SMR)的(de)模擬分析(xi)PGC解調光纖傳聲(sheng)器(qi)技術的(de)討論一種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上述壓電薄(bo)膜(mo)諧(xie)振器分為兩(liang)種(zhong)類型,FBAR(薄(bo)膜(mo)腔聲諧(xie)振器)和(he)SMR(固態裝配諧(xie)振器)。FBAR包括(kuo)層(ceng)疊在諸如硅或(huo)玻(bo)璃的基板(ban)上的上電極膜(mo)、壓電膜(mo)和(he)下電極膜(mo)的層(ceng)疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月(yue)31日-壓電(dian)薄膜諧振器可分成FBAR(薄膜塊體聲(sheng)波諧振器)型和SMR(固態裝配諧振器,solidlymountedresonator)型。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳感器是(shi)混合型諧振無源諧振結構,其可以在制造過程中被集成于車輛(liang)地(di)面連接裝置(zhi)HBAR“高(gao)模薄膜體聲波諧振器”),或(huo)者帶有布拉格反射(she)鏡(SMR“固態(tai)裝配型諧振。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感器(qi)是混合型(xing)諧振無源諧振結構(gou),其可以在(zai)制造過(guo)程中被集(ji)成于車輛地面連接裝(zhuang)置HBAR"高模薄膜體聲波諧振器(qi)"),或者帶(dai)有布拉格反射鏡(jing)(SMR"固態裝(zhuang)配型(xing)諧振器(qi)"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日-[0020]壓電薄膜諧(xie)振(zhen)器包(bao)括FBAR型和SMR型,其中(zhong)FBAR是薄膜體聲波諧(xie)振(zhen)器(Film-BulkAcousticResonator)的(de)縮(suo)寫,以(yi)及SMR是固態安裝諧(xie)振(zhen)器(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月5日-將上述壓電薄膜諧(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器分(fen)為兩種類型,FBAR(薄膜腔聲諧(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器)和(he)SMR(固態裝配諧(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器)。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓(ya)電(dian)薄膜諧(xie)(xie)振器(qi)可分成(cheng)FBAR(薄膜塊體聲(sheng)波諧(xie)(xie)振器(qi))型和(he)SMR(固態裝配諧(xie)(xie)振器(qi),solidlymountedresonator)型。FBAR具有由上(shang)部電(dian)極、壓(ya)電(dian)膜和(he)下部電(dian)極構(gou)成(cheng)的。